复旦大学光电研究院仪器设备收费标准

序号

仪器编号

共享设备名称

收费标准

1

S2506720

钝化层专用低温反应离子刻蚀机

院内自主上机费用：300元/小时；

校内自主上机费用：400元/小时；

校外自主上机费用：500元/小时；

代操作额外收取200元/小时 

2

S2507873

椭圆偏振光谱仪

院内自主上机费用：200元/小时；

校内自主上机费用：300元/小时；

校外自主上机费用：400元/小时；

代操作额外收取200元/小时，送样测试费400元/小时

3

S2505772

芯片高密度堆叠耦合设备

院内自主上机费用：500元/小时；

校内自主上机费用：600元/小时

校外自主上机费用：700元/小时；

代操作额外收取300元/小时 

4

S2503149

介电分析系统

院内自主上机：150元/样品；

校内自主上机：200元/样品；

校外自主上机：300元/样品；

代操作额外收取200元/样品。

5

S2503336

金相显微镜

院内自主上机费用：50元/小时；

校内自主上机费用：80元/小时；

校外自主上机费用：100元/小时；

代操作额外收取100元/小时

6

20012344

紫光可见分光光度计

院内自主上机200元/小时；

校内自主上机300元/小时；

校外自主上机500元/小时；

代操作额外收取200元/样品

7

S2511874

多频段毫米波与太赫兹信号连续生成系统

院内：400元/小时；

校内：500元/小时；

校外：1000元/小时

8

S2511880

高频段信号质量特征分析系统

院内：400元/小时；

校内：500元/小时；

校外：1000元/小时                

9

S2511882

宽波段低能光电检测及应用系统

院内：300元/小时；

校内：400元/小时；

校外：800元/小时

10

S2421361

手套箱蒸镀仪一体化设备

院内自主上机费用：200元/小时；     

校内自主上机费用：500元/小时；

校外自主上机费用：1000元/小时；

1.测试时间不足一小时按一小时收取

2.蒸镀源材料以及其他相关耗材如需提供，价钱另算。

3.使用的材料和样品需要管理员或负责人进行评估，如果对舱体造成污染，则另外收取额外的清理费用。

11

S2516819

高精度光刻机

院内自主上机费用：300元/小时；

校内自主上机费用：560元/小时；

校外自主上机费用：800元/小时；

12

S2526029

划片机

院内自主上机费用：400元/小时；

校内自主上机费用：600元/小时；

校外自主上机费用：800元/小时；

刀片可自带，换刀200元/次。